背鈍化工藝可以減少載流少子在晶圓背面的復(fù)合，從而提高了晶圓的能量轉(zhuǎn)換效率。激光銷(xiāo)蝕可應(yīng)用于高效晶硅PERC電池背面開(kāi)槽。工藝要點(diǎn)是選擇合適的激光以及激光加工窗口對(duì)鈍化層進(jìn)行開(kāi)槽。激光把一層很薄的鈍化層銷(xiāo)蝕掉，產(chǎn)生約30-40um寬的銷(xiāo)蝕線(xiàn)槽。電池的背電極由鋁銀漿通過(guò)這些銷(xiāo)蝕線(xiàn)槽與硅基材燒結(jié)而成，形成良好的電接觸。
532nm波長(zhǎng)短脈沖激光實(shí)施PERC背鈍化開(kāi)槽
燒結(jié)后增加了電池片的開(kāi)路電壓和閉路電流
單晶電池片效率提升1.0+%
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