產(chǎn)品特點(diǎn)
532nm 激光
單晶和多晶晶圓: 156-166mm
設(shè)備凈產(chǎn)率: 7500WPH
工藝應(yīng)用: PERC,雙面PERC, IBC
設(shè)備結(jié)構(gòu):雙工位轉(zhuǎn)臺(tái)和二維掃描頭
晶圓定位:高精度4相機(jī)CCD相機(jī)陣列,背光照明系統(tǒng)
SolarLase-G3PERC 是自動(dòng)化高產(chǎn)率量產(chǎn)激光加工設(shè)備,用于高效晶硅PERC、雙面PERC,和IBC電池的生產(chǎn)。SolarLase-G3PERC 使用先進(jìn)的532nm波長(zhǎng)激光微加工技術(shù)對(duì)PERC和IBC電池的背面進(jìn)行激光開(kāi)槽(Laser Ablation)。
SolarLase-G3PERC 使用大扭矩轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)計(jì)把晶圓從上料區(qū)快速傳送到加工區(qū)以及下料區(qū),達(dá)到很高的量產(chǎn)產(chǎn)率(7500WPH)。除了轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間外,設(shè)備中激光總是處于繁忙工作狀態(tài),使激光的利用率達(dá)到最大化。
SolarLase-G3PERC 使用高精度CCD相機(jī)陣列尋找晶圓的邊緣和為晶圓定位,設(shè)備控制軟件對(duì)激光掃描圖案的大小、位子和角度也相應(yīng)地進(jìn)行調(diào)整, 使得激光在晶圓上打印的圖案與晶圓的四邊形成一個(gè)外觀優(yōu)美的、均勻和等距離的邊框。晶圓定位精度滿足IBC加工要求。
為了滿足24×7的穩(wěn)定量產(chǎn)要求,我們選擇花崗巖材料來(lái)給設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng)提供一個(gè)穩(wěn)定的安裝和工作平臺(tái)。SolarLase-G3PERC 滿足 Class-I激光安全標(biāo)準(zhǔn),確保操作人員的安全。設(shè)備的應(yīng)用軟件中工程師能夠方便地編輯配方,操作員可以簡(jiǎn)單地使用配方進(jìn)行生產(chǎn)。 設(shè)備的高效除塵系統(tǒng)把99%以上的加工灰塵清除掉,保證了晶圓的清潔。
SolarLase-G3PERC 還可以根據(jù)客戶的特殊要求提供適合您的配置,敬請(qǐng)您聯(lián)系我們的銷售部門(mén)。